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ビジネスワイヤ・ジャパン株式会社のプレスリリース

浜松ホトニクスが新型-近赤外CCDカメラ「C3077-80」を発売へ



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ビジネスワイヤ・ジャパン株式会社のプレスリリース

2014年04月22日 09:00
[カテゴリ] 新製品発表 [業種] 機械・精密機器
[関連タグ] 浜松ホトニクス / 近赤外CCDカメラ / C3077-80 / 半導体製造装置
[関連URL] 浜松ホトニクスが新型-近赤外CCDカメラ「C3077-80」を発売へ



浜松ホトニクス株式会社(東証:6965)は、従来の近赤外CCDカメラに比べて、より高感度(900nmにおいて2倍以上)を実現したCCDカメラ「C3077-80」を開発しました。






従来の近赤外CCDカメラより、感度を大幅に改善、半導体製造装置への組込に適した近赤外CCDカメラ「C3077-80」を4月22日より発売

浜松--(BUSINESS WIRE)--(ビジネスワイヤ) -- 浜松ホトニクス株式会社(東証:6965)は、従来の近赤外CCDカメラに比べて、より高感度(900nmにおいて2倍以上)を実現したCCDカメラ「C3077-80」を開発しました。国内、東アジア市場を中心に、Siウェハ貼り合わせ装置、ダイボンダなどの半導体装置メーカに販売していきます。本日(4/22)より販売を開始します。(定価:350,000円 税抜き)
また、6月に開催される画像センシング展2014(6/11〜/13、パシフィコ横浜)に出展いたします。

これまで、Siウェハの張り合わせを行う場合のウェハ位置合わせや、Siデバイス(フリップチップ等)の内部観察に、近赤外CCDカメラが使われてきました。しかし、最近パワーデバイス等に使用される低抵抗ウェハが増加し、従来の近赤外CCDでは、観察が難しくなってきました。そこで、浜松ホトニクスは、近赤外感度を向上させ、低抵抗ウェハに対応した近赤外CCDカメラ「C3077-80」を開発しました。今後市場の拡大が期待される三次元実装ICの組み立て等にも、応用が期待されます。

C3077-80は、高安定・高信頼性・互換性を重視し、半導体製造装置の画像入力に使用されるEIA出力を採用していますので、従来装置に組み込んでそのままご利用いただくことができます。

浜松ホトニクスは、自社製検出素子(CCD)を用い、素子の性能を十分に引き出す回路設計、最適化したトータル設計により高感度・高信頼性の近赤外CCDカメラを提供しています。

【主な特長】
高感度
当社独自開発の検出素子(CCD)を採用し、波長900 nmにおいて従来カメラより2倍以上(当社比)の高い感度を実現しています。パワーデバイス等に使用される低抵抗ウェハでは、近赤外光の透過率が低く、観察を行うためには、より高感度のカメラが求められており、C3077-80は、その要求に答えます。

高信頼インターフェース
半導体製造・検査装置には、高い安定性・信頼性が求められます。C3077-80は、映像出力に従来から実績があるEIA出力を採用しています。

【価格】

標準構成:350,000円(税抜) / 378,000円(税込)
     (構成品:カメラヘッド)

【発売開始】 2014年4月22日

【販売目標】 200台/1年目、500台/3年目

【浜松ホトニクス】
浜松ホトニクスは、光の技術集団として、光の基礎研究と各種光関連製品の開発・製造・販売を行っています。
代表的な取り扱い製品として、光電子増倍管やフォトダイオードをはじめとする光検出器、レーザやLEDをはじめとする光源、そして光検出器をキーコンポーネントとしたカメラや画像解析装置・光計測装置などがあります。また、光の本質に迫る研究に加え、光技術の産業応用に様々視点から取り組んでいます。

連絡先
【お問い合わせ先】
浜松ホトニクス株式会社
システム営業部 (担当:白井宏幸、晝馬亨、杉下財)
TEL: 053-431-0150
FAX: 053-433-8031
E-mail: sales@sys.hpk.co.jp

パーマリンク: http://www.businesswire.com/news/home/20140421005022/ja/

【お問い合わせ先】
〒102-0074
東京都千代田区九段南
ビジネスワイヤ・ジャパン株式会社
担当:河野修
Email:
TEL:03-3239-0755 / FAX:03-5210-7214
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